等離子清洗主要通過活性等離子體對材料表面進行物理轟擊或化學(xué)反應(yīng)等單一或雙重作用，從而實現(xiàn)材料表面分子水平的污染物去除或改性，能夠有效去除材料表面的有機殘留、微顆粒污染、氧化薄層等，提高工件表面活性，避免鍵合分層或虛焊等情況。
在線式真空等離子清洗機產(chǎn)品介紹：
在線式真空等離子清洗機從上料、清洗到下料整個過程是一個全自動化的過程，系統(tǒng)采用全自動運行方式，可與上下游生產(chǎn)工序連線，設(shè)備采用PLC模塊控制，其主要部件如圖1所示：包括反應(yīng)倉體,射頻等離子產(chǎn)生系統(tǒng),真空系統(tǒng),上、下料傳動系統(tǒng),氣路系統(tǒng),控制系統(tǒng),警報系統(tǒng)等。
圖一 在線式真空等離子清洗機結(jié)構(gòu)示意圖
在線式真空等離子清洗機工作流程：
在線式真空等離子清洗一個周期的過程如圖2所示,當(dāng)點擊開始按鈕后,放置好的產(chǎn)品將運送至機械手取料區(qū)域,機械手臂上裝有一定位傳感器,自動識別物料的位置,并從中抽取處物料放置在裝料平臺上,裝滿后,裝料平臺運行至反應(yīng)倉上部主體下閉合。抽真空開始,當(dāng)反應(yīng)倉體內(nèi)壓力降至左右時,氣體控制閥打開,注入工藝氣體,氣體均勻充滿倉體后,射頻電源開啟,放電產(chǎn)生射頻等離子體,等離子體作用于物體表面污物,清洗完成后,射頻電源自動關(guān)閉。此時真空泵關(guān)閉,倉體內(nèi)壓強逐漸回升,達到平衡狀態(tài)。隨后反應(yīng)倉閉合機構(gòu)下降，使裝料臺與反應(yīng)倉分開，裝料平臺下移運送至卸料處。與此同時,另一塊裝料臺開始工作。
在線式真空等離子清洗機工作流程
在線式真空等離子清洗機與常規(guī)等離子清洗機相比有如下優(yōu)勢：
在線式真空等離子清洗機上下料過程采用全自動機械執(zhí)行。標準等離子清洗機物料在反應(yīng)倉的出入搬運工作需要人工完成，每臺等離子清洗機需要配備一名操作工人進行相應(yīng)控制。在線式真空等離子清洗機的上下料臺可以通過自動搬運單元與整個生產(chǎn)線的上下游設(shè)備的進出口進行無縫連接，從而達到完全屏蔽人工介入的自動化清洗設(shè)備要求。
在線式等離子清洗機清洗效果更好，它具有高的生產(chǎn)效率，優(yōu)良的均勻性和一致性，由于清洗過程無人為干預(yù)，可以避免人為操作導(dǎo)致的二次污染。
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