中頻等離子清洗機(jī)是什么意思?
文章出處:等離子清洗機(jī)廠家 | 深圳納恩科技有限公司| 發(fā)表時間:2024-04-01
等離子清洗機(jī)按照等離子發(fā)生器的激發(fā)頻率不同大致上可分為,40KHz(中頻等離子清洗機(jī))、13.56MHz(射頻等離子清洗機(jī))和2.54GHz(微波等離子清洗機(jī))三種。中頻等離子清洗機(jī),指的就是等離子發(fā)生器激發(fā)頻率為40KHz的等離子清洗機(jī)。
等離子清洗機(jī)放電頻率的不同,會對等離子體攜帶的能量、單位時間內(nèi)產(chǎn)生的活性自由基和活性原子有著很大的影響,同時不同頻率下的等離子體對改性材料表面作用也不相同。
等離子清洗機(jī)電源激勵頻率與離子密度、電源頻率與等離子體自偏壓之間及的大致關(guān)系:頻率越高,等離子體離子密度越高;頻率越高,自偏壓越低。
中頻:自偏壓高,等離子體密度較低,離子能量高,容易產(chǎn)生較高的工藝溫度和不必要的濺射;
射頻:自偏壓偏低,等離子密度較高,離子能量較高;
微波:無自偏壓,離子濃度最高,能量最低,均勻性較差。
等離子體清洗類型對清洗效果具有一定的影響。中頻等離子體發(fā)生的反應(yīng)主要為物理反應(yīng),利用等離子轟擊被清潔表面去除污染物,但同時會使表面產(chǎn)生一定損傷;射頻等離子體發(fā)生的反應(yīng)既有物理反應(yīng)又有化學(xué)反應(yīng);微波等離子體發(fā)生的反應(yīng)主要為化學(xué)反應(yīng),清潔力度較小。
等離子體物理清洗可使材料表面的粗糙度增加,有助于提高材料表面的附著力;等離子體化學(xué)清洗可以顯著增加材料表面的含氧、含氮以及其他類型的活性基團(tuán),有助于改善材料的表面浸潤性。
中頻等離子清洗機(jī)因?yàn)殡x子能量高,適合用來對高分子材料表面改性,也被常用來做刻蝕。