等離子清洗的基本原理介紹
文章出處:等離子清洗機(jī)廠家 | 深圳納恩科技有限公司| 發(fā)表時(shí)間:2023-06-14
低溫等離子體通常應(yīng)用于材料表面清洗,具有很高的作用強(qiáng)度高和低穿透能力,工藝處理簡(jiǎn)單且效果好,環(huán)保節(jié)能等特點(diǎn),可與材料表面發(fā)生一系列復(fù)雜的物理反應(yīng)或是化學(xué)反應(yīng)。
等離子清洗
等離子清洗的基本原理:
等離子清洗的基本原理即是等離子體通過(guò)其內(nèi)部具有特定反應(yīng)活性或高能量的粒子,如離子、電子、激發(fā)態(tài)的原子和分子以及自由基等等,去撞擊待清洗材料表面,將附著在表面的污染物或微顆粒物剝離或與產(chǎn)品表面的有機(jī)物發(fā)生反應(yīng)生成易揮發(fā)的氣體,隨真空泵排出,從而達(dá)到清潔材料表面的目的,屬于干法清洗技術(shù),在不破壞材料表面特性的情況下,有效清除待清洗材料表面的污染物,其優(yōu)勢(shì)明顯,能替代傳統(tǒng)的濕法清洗技術(shù)。
等離子體清洗過(guò)程如下所示:
射頻激發(fā)產(chǎn)生等離子體→激發(fā)狀態(tài)(原子團(tuán)、離子、中性分子)→等離子發(fā)生濺射、浸蝕→清洗反應(yīng)
射頻激發(fā)清洗氣體產(chǎn)生等離子體;處于激發(fā)態(tài)的粒子在待清洗材料表面發(fā)生濺射、浸蝕從而進(jìn)行等離子清洗反應(yīng)。因?yàn)榈入x子體中存有電子、離子和自由基等活性粒子,其本身很容易和固體表面發(fā)生物理或是化學(xué)反應(yīng)。(1)原子團(tuán)等自由基與待清洗產(chǎn)品表面的作用:等離子體自由基多于電子,而且呈現(xiàn)電中性,處于激發(fā)態(tài)的自由基具有很高的能量,容易與產(chǎn)品表面分子相結(jié)合不斷產(chǎn)生新的自由基,新形成的自由基也有很高的能量,易引發(fā)分解反應(yīng)產(chǎn)生小分子和新的自由基,從而引發(fā)產(chǎn)品表面上的物質(zhì)發(fā)生連續(xù)化學(xué)反應(yīng)最終分解成水和二氧化碳等易揮發(fā)物質(zhì);(2)電子與產(chǎn)品表面的作用:電子撞擊產(chǎn)品表面,促使附著在產(chǎn)品表面的氣體分子產(chǎn)生化學(xué)分解或解吸,且大量的電子聚集于產(chǎn)品表面撞擊易引發(fā)化學(xué)反應(yīng);(3)離子與產(chǎn)品表面的作用:通常帶正電荷的陽(yáng)離子會(huì)加速向帶負(fù)電荷表面運(yùn)動(dòng),導(dǎo)致產(chǎn)品表面的原子或分子獲得較大的動(dòng)能,最終逃逸出產(chǎn)品表面,該現(xiàn)象被稱為濺射現(xiàn)象;(4)紫外線與產(chǎn)品表面的作用:其具有很強(qiáng)的光能,且穿透能力很強(qiáng),可以將附著在產(chǎn)品表面的物質(zhì)分子鍵斷裂,可穿透產(chǎn)品的表層并深達(dá)數(shù)微米而進(jìn)行反應(yīng)??傊?,利用等離子體內(nèi)的各種高能量的物質(zhì)的活化性能,進(jìn)行產(chǎn)品表面清洗,將附著在待清洗產(chǎn)品表面的氧化物及污染物脫附。
以上就是國(guó)產(chǎn)等離子清洗機(jī)廠家納恩科技關(guān)于等離子清洗的基本原理介紹,等離子清洗與傳統(tǒng)濕法清洗相比具有如下優(yōu)點(diǎn):等離子清洗無(wú)需使用化學(xué)溶液,如酸、堿或其它有機(jī)溶劑等,無(wú)腐蝕等隱患,安全可靠;等離子清洗后無(wú)廢液產(chǎn)生,有利于環(huán)境保護(hù)。