等離子清洗機(jī)產(chǎn)生的氣體是否對(duì)人體有危害？

文章出處：等離子清洗機(jī)廠家 | 深圳納恩科技有限公司| 發(fā)表時(shí)間：2022-06-01

等離子清洗機(jī)通過等離子體產(chǎn)生的離子通過離子轟擊材料實(shí)現(xiàn)物理和化學(xué)反應(yīng)，由產(chǎn)生等離子體的氣體和氣體組合的不同，可以在處理表面產(chǎn)生不同的反應(yīng)。

等離子體本質(zhì)是“部分離子化了的氣體”，由電子、離子、活潑自由基、分子四種形態(tài)組成。反應(yīng)氣體處在低的壓力中，在電場(chǎng)的作用下獲得能量，氣體分子離子化，產(chǎn)生輝光放電。離子化氣體分子影響或和進(jìn)程中的材料分子反應(yīng)，打破他們變成較小的分子而且變成揮發(fā)性的氣體，通過真空泵排凈。等離子處理過程是一個(gè)物理和化學(xué)相結(jié)合的反應(yīng)。

等離子清洗機(jī)產(chǎn)生的氣體是否對(duì)人體有危害？

在等離子清洗蝕刻中的反應(yīng)氣體主要有N2,Ar,He,O2，CF4，H2等，等離子體的化學(xué)作用過程，主要是高能正離子和自由基粒子的誘發(fā)反應(yīng)。自由基的高度不穩(wěn)定性使其在化學(xué)作用過程中能迅速實(shí)現(xiàn)能量傳遞和激發(fā)官能團(tuán)的作用，處于激發(fā)狀態(tài)的有機(jī)官能團(tuán)，也具有不穩(wěn)定的高能量狀態(tài)，很容易發(fā)生裂解反應(yīng)，生成穩(wěn)定的氣態(tài)分子，如水、二氧化碳、二氧化氮，SiF4等，SiF4即四氟化硅，其無色、有毒、有刺激性臭味的氣體，氟化物對(duì)人體有害，少量的氟就能引發(fā)一系列的病痛。

以上就是國產(chǎn)等離子清洗機(jī)廠家納恩科技整理的關(guān)于等離子清洗機(jī)產(chǎn)生的氣體是否對(duì)人體有危害的簡單介紹。等離子清洗機(jī)產(chǎn)生的氣體對(duì)人體有沒有傷害，主要看通入的是反應(yīng)性氣體還是非反應(yīng)性氣體，如果是非反應(yīng)性氣體，那么就不會(huì)產(chǎn)生任何危害，如氬氣等。如果是反應(yīng)性氣體，就要看這種反應(yīng)性氣體反應(yīng)后生成的氣體是哪種成分，如果通入的氣體是氧氣和氫氣那么生成的產(chǎn)物就是二氧化碳和水，那么對(duì)于人體就沒有任何危害，如果通入的氣體本身是腐蝕性氣體，那么生成的揮發(fā)性氣體也會(huì)對(duì)人體有一定的危害如CF4等，會(huì)產(chǎn)生揮發(fā)性的氟化物，需要注意對(duì)生成的尾氣進(jìn)行處理。不要直接在密閉空間直接排放。